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中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准

发布时间:2015/9/15   点击次数:428次

中国国家电子级超纯水GB/TII446.11997标准



 指标\级别

 EW

 EW

EW 

EW-

 电阻率 MΩcm(25)

18以上,(95%时间)不低于17

15,(95%时间)不低于13

 12.0   

0.5   

 全硅,最大值,μg/L

2

10

50

1000

 1μm微粒数,最大值,个/mL

0.1

5

10

500

 细菌个数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

 铜,最大值,μg/L

0.2

1

2

500

 锌,最大值,μg/L

0.2

1

5

500

 镍,最大值,μg/L

0.1

1

2

500

 钠,最大值,μg/L

0.5

2

5

1000

 钾,最大值,μg/L

0.5

2

5

500

 氯,最大值,μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 磷酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 硫酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 总有机酸,最大值,μg/L

20

100

200

1000



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